金融界2024年12月23日音讯，国家知识产权局信息数据显现，营口金辰机械股份有限公司获得一项名为“一种温控组织及管式PECVD设备”的专利，授权公告号CN 222182438 U，请求日期为2023年12月。
专利摘要显现，本实用新型触及一种温控组织及管式PECVD设备，其包含内热偶组件和辅热灯组件，所述内热偶组件包含内热偶套管，所述内热偶套管选用碳化硅原料制成，且所述内热偶套管两头的外周外表别离涂覆有绝缘涂层；所述辅热灯组件包含辅热套管，所述辅热套管两头衔接至炉口法兰盒炉尾法兰；该组织经过内热偶组件和辅热灯组件，完成对管式PECVD设备内部温度监控和操控，以满意设备镀膜安稳，而且选用碳化硅资料内热偶组件的增强了本身强度，可防止内热偶组件在高温下变形或爆裂，一起经过辅热灯支撑架对辅热灯组件支撑和分隔，可防止辅热灯组件运用的过程中磕碰决裂，下降替换频率。
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